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多晶硅生产设备控制方法、装置、服务器和存储介质制造方法及图纸
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文档序号:39048734
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本发明提供了一种多晶硅生产设备控制方法、装置、服务器和存储介质,多晶硅生产设备控制方法,包括:获取目标参数;对目标参数进行经验模态分解EMD以及主成分分析处理,得到目标参数的平稳参数;获取目标参数的主成分参数的预测样本和目标参数的稳健距离参...
该专利属于新特硅基新材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过新特硅基新材料有限公司授权不得商用。
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