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树脂组合物的示例包括环氧树脂基质和掺入到该环氧树脂基质中的官能化二氧化硅纳米粒子。这些官能化二氧化硅纳米粒子具有至多约10nm的平均粒度。该树脂组合物可使用纳米压印光刻进行压印。该树脂组合物可用于制造用于流通池的图案化基底。通池的图案化基底...
该专利属于伊鲁米纳公司所有，仅供学习研究参考，未经过伊鲁米纳公司授权不得商用。

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