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一种基于锯齿形结构的压电传感器及自供电振动监测装置制造方法及图纸
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下载一种基于锯齿形结构的压电传感器及自供电振动监测装置的技术资料
文档序号:39046887
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本发明公开了一种基于锯齿形结构的压电传感器及自供电振动监测装置;该压电传感器其包括承压块、锯齿形压电薄膜和基体。锯齿形压电薄膜设置在承压块与基体之间。所述承压块与基体的相对侧面呈现相互匹配的锯齿状结构。锯齿形压电薄膜上形成多个与承压方向的法...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
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