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文档序号:39045982
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加热器(1)具备陶瓷基体(10)和发热电阻体(20)。陶瓷基体(10)具有包含氮化硅的多个晶体粒子(17)和位于多个晶体粒子间并包含稀土类元素以及硅的氧化物的第一晶界相(18)。发热电阻体(20)位于陶瓷基体(10)的内部。陶瓷基体(10)...
该专利属于京瓷株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过京瓷株式会社授权不得商用。
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