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基于二维材料与双狭缝波导的非线性激活器及其应用制造技术
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下载基于二维材料与双狭缝波导的非线性激活器及其应用的技术资料
文档序号:39043315
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本发明公开了一种基于二维材料与双狭缝波导的非线性激活器:所述非线性激活器的设计基于SOI材料平台,其中最下层是二氧化硅基底,在此基础上制作硅狭缝波导,两侧填充二氧化硅;然后在硅狭缝波导上沉积氧化铝薄膜;接着将层状二维材料转移到薄膜之上,该材...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。
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