下载一种节能洁净室及其控制方法的技术资料

文档序号:39043074

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本发明涉及洁净室领域,尤其涉及一种节能洁净室及其控制方法。要解决的技术问题是:初效过滤器常常需要更换,更换成本高且困难,同时,现有初效过滤器易破损和泄露,人工无法及时发现,导致中级过滤器和高级过滤器负担过大,大大缩短了中级过滤器和高级过滤器...
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