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本发明提供一种映射模型构建方法及样件结构参数测量方法，通过拟合算法提取多组实测穆勒光谱对应的结构参数，采用灵敏度分析方法计算每个波长对应的每个穆勒光谱元素点位对厚度的灵敏度；根据灵敏度阈值，筛选合格的穆勒光谱元素点位；获取训练数据集，包括组...
该专利属于华中科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过华中科技大学授权不得商用。

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