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描述了基于微机电系统(MEMS)的空间光调制器(SLM)，这些空间光调制器封闭在填充有气体的封装体中以提高SLM的可靠性和寿命，并且描述了在各种应用中操作这些空间光调制器的方法。通常，SLM包括多个MEMS调制器，每个调制器包括多个光反射表...
该专利属于硅光机电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过硅光机电股份有限公司授权不得商用。

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