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本发明涉及一种为激光蒸发系统(100)提供反应室(10)的方法，所述反应室(10)包括至少一个壁部(20)，所述壁部具有面向所述激光蒸发系统(100)的反应体积(12)的内表面(22)。另外，本发明涉及一种用于激光蒸发系统(100)的反应室...
该专利属于马克斯所有，仅供学习研究参考，未经过马克斯授权不得商用。

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