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本发明涉及制造机械部件（５１）的方法（１），包括如下步骤：ａ）提供（３）由可微加工材料制成的基片（５３）；ｂ）借助于光刻法，在所述整个基片上蚀刻（５）包含所述部件的图案（５０）；根据本发明，该方法还包括如下步骤：ｃ）将所述蚀刻的基片安装（７...
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