温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种用于检测透明基板表面和／或其内部的缺陷的系统和方法。所述系统包括：至少一个成像元件，对基板进行扫描；至少两个光源，对基板进行不同模式的照明；传送装置，使得基板与至少一个成像元件和两个光源之间产生相对移动；以及控制装置，控制至...
该专利属于圣戈本玻璃法国公司所有，仅供学习研究参考，未经过圣戈本玻璃法国公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。