下载一种氙气提纯系统及其提纯方法的技术资料

文档序号:39005307

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本发明属于氙气提纯技术领域,尤其涉及一种氙气提纯系统及其提纯方法,该提纯系统包括:纯化柜,低温收集装置,充装冷柜,纯化柜用于对氙气进行除杂;低温收集装置用于对氙气进行收集;充装冷柜用于将氙气充装至低温的气瓶中;纯化柜、低温收集装置、充装冷柜...
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