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本发明涉及光刻激光技术领域，公开了一种激光系统及控制方法，采用脉冲电流直接控制第一半导体激光器和第二半导体激光器输出激光脉冲的重复频率与脉冲宽度，从而能够自由调整最终输出的第三脉冲光的脉冲重复频率与脉冲宽度，在光刻技术中，激光脉冲的重复频率...
该专利属于光科芯图（北京）科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过光科芯图（北京）科技有限公司授权不得商用。

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