温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了基于相位恢复的芯片掩模版瑕疵检测方法，通过拍摄相机在同一平面内的不同角度位置拍摄掩膜版得到不同角度的拍摄图像，对拍摄图像进行傅里叶变换以将拍摄图像从空域转换至频域，并将不同角度的拍摄图像在频域中的频谱叠加合并，对叠加合并后的频谱...
该专利属于成都中科卓尔智能科技集团有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都中科卓尔智能科技集团有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。