温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及光刻机光源技术领域，具体涉及准分子激光器风机振动干扰补偿方法、装置及激光器，所述方法包括：获取激光器输出当前脉冲的输出能量，通过各陷波滤波器提取对应风机振动干扰信号；针对每组提取的干扰信号，通过对应超前滤波器预估下一脉冲的干扰信号...
该专利属于北京科益虹源光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京科益虹源光电技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。