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本发明提供的是一种闭环控制的单频激光干涉测量增益调整的装置和方法。其特征是：单频激光信号通过闭环增益调整装置后转换为数字信号用于相位解算。所述装置和方法为：单频激光干涉仪发出的激光信号经由光电转换模块、直流偏置模块和增益模块信号后，被模数转...
该专利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备（集团）股份有限公司授权不得商用。

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