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薄膜晶体管及其制造方法技术
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文档序号:3899595
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本发明提供了一种薄膜晶体管及其制造方法。一种薄膜晶体管(TFT)包括栅极、有源层、源极和漏极。有源层包括与源极和漏极接触的接触区域,接触区域比有源层的剩余区域薄。接触区域减小有源层与源极和漏极之间的接触电阻。...
该专利属于三星移动显示器株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星移动显示器株式会社授权不得商用。
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