下载一种刻蚀类产品自动清洗设备的技术资料

文档序号:38994800

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本发明属于石英半导体部件加工技术领域,具体涉及一种刻蚀类产品自动清洗设备,包括:一设备外壳,具有上料工位、清洗工位和下料工位;一龙门机械臂,具有可横移和升降的运动部,运动部的横移行程至少包括从上料工位经过清洗工位至下料工位;一治具筐,放置待...
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