温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种高磁通量的钴铁基合金磁性溅射靶材，是以熔炼铸造所制成，且由钴、铁以及添加金属所组成的磁性溅射靶材，其中该添加金属是一种以上选自于由钽（Ｔａ）、锆（Ｚｒ）、铌（Ｎｂ）、铪（Ｈｆ）、铝（Ａｌ）以及铬（Ｃｒ）所组成的群组。借由钴铁比...
该专利属于光洋应用材料科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过光洋应用材料科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。