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本发明提供一种新型微波等离子体发生与电离装置，由石英中心管、石英中心管上辅助气接口、石英内管、石英外管上冷却气接口、石英外管、微波中心管、微波外管、微波接头和微波等离子体组成。石英中心与石英内管固定，石英中心管上辅助气接口位于石英内管下端，...
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