下载一种半导体衬底的抛光方法的技术资料

文档序号:38986922

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本发明涉及太阳能电池技术领域,具体提供一种半导体衬底的抛光方法,包括:提供半导体衬底;对半导体衬底进行超声碱洗;对半导体衬底进行抛光处理,以降低半导体衬底的两侧表面的线痕度;抛光处理采用抛光处理液,抛光处理液包括碱液、抛光辅助剂以及去离子水...
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