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本实用新型涉及半导体技术领域，具体涉及用于半导体的反应腔体和半导体装置，包括腔体主体，所述腔体主体的外侧固定连接有固定块，所述固定块的内部开设有连接槽，所述连接槽的内部开设有两组容纳槽，所述容纳槽的内部固定连接有多组卡接条，所述腔体主体的顶...
该专利属于靖江新恒和半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过靖江新恒和半导体科技有限公司授权不得商用。

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