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本申请涉及晶圆测试设备技术领域，公开了一种晶圆位置检测装置，包括机器视觉识别系统，机器视觉识别系统用于识别晶圆上的批号信息；晶圆识别系统，晶圆识别系统用于识别晶舟固定位上是否容置有晶圆；信息处理系统，信息处理系统连接于机器视觉识别系统和晶圆...
该专利属于上海芯丑半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海芯丑半导体设备有限公司授权不得商用。

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