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本实用新型公开了一种非接触式吸盘、晶粒搬运装置和晶粒检测装置，其中非接触式吸盘用于对晶粒进行非接触式吸附，包括与气管连通的出气口，所述出气口为变截面结构，变截面结构为出气口由靠近气管一侧至远离气管一侧其截面面积递增，所述出气口的内部设置有整...
该专利属于珠海格力新元电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过珠海格力新元电子有限公司授权不得商用。

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