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流量控制装置制造方法及图纸
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文档序号:3896135
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本发明提供一种流量控制装置,各流量控制装置相互不会干涉,可得到设定器所设定的正确流量。该流量控制装置接受来自外部的电源供给并进行动作,具有流过流体的流路、调节该流路的开度的电磁阀(20)、驱动该电磁阀的阀驱动电路(21)、对流经流路的流体流...
该专利属于株式会社山武所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社山武授权不得商用。
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