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本实用新型提供一种电容式MEMS装置，其包括：MEMS器件，其包括检测电容，所述检测电容包括第一电极、第二电极和质量块；检测电路；与第一电极耦接的第一开关电路；与第二电极耦接的第二开关电路。在自检的第一阶段时，第一开关电路将第一电极耦接至第...
该专利属于美新半导体（天津）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过美新半导体（天津）有限公司授权不得商用。

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