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一种预真空锁压力计，包括壳体，该壳体被配置成联接到预真空锁真空腔室。壳体支撑绝对真空压力传感器和差动隔膜压力传感器，该绝对真空压力传感器在高真空压力范围内提供瞬时高真空压力信号，该差动隔膜压力传感器提供预真空锁压力与环境压力之间的瞬时差压信...
该专利属于万机仪器公司所有，仅供学习研究参考，未经过万机仪器公司授权不得商用。

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