下载一种石墨加热器及长晶设备的技术资料

文档序号:38944305

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供了一种石墨加热器及长晶设备,涉及碳化硅长晶设备技术领域。该石墨加热器包括至少一个加热组件。加热组件包括顶连接部、三个弧形板部和三个底承接部;弧形板部的一端连接于顶连接部,另一端连接于底承接部;三个弧形板部间隔设置,且三个弧形板...
该专利属于通威微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过通威微电子有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。