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一种探针卡装置，包括：一薄膜基板，具有相对的第一表面与一第二表面；复数个探针，设置于所述薄膜基板之所述第一表面上，其中所述些探针不具变形能力，且所述些探针与所述薄膜基板系一体成型；长晶方式生成的陶瓷基板或玻璃基板，具有相对的第一表面与一第二...
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