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一种卡盘组件，其包括具有上表面、下表面和下表面中的卡盘凹部的卡盘板，卡盘板的表面上的杠杆，活塞，卡盘垫和弹性构件，所述弹性构件连接至卡盘板的卡盘凹部中的活塞并被构造成向卡盘垫提供基于活塞运动的弹性力。成向卡盘垫提供基于活塞运动的弹性力。成向...
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