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本发明提供了一种薄型半导体基材清洗用伯努利吸盘，包括驱动装置和限位组件，限位组件包括驱动盘以及覆盖于驱动盘顶部的吸盘本体，吸盘本体转动连接不少于三个的定位销，驱动盘与吸盘本体之间形成容纳腔；容纳腔内安装驱使多个定位销夹持或松开晶圆的调节轮盘...
该专利属于苏州智程半导体科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州智程半导体科技股份有限公司授权不得商用。

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