下载一种晶圆切割方法、位置控制装置及环切设备的技术资料

文档序号:38900060

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本发明实施例公开了一种晶圆切割方法、位置控制装置及环切设备;通过优化激光部件(010)与支撑部件(040)的空间位置,调整晶圆激光处理过程末段,特别是切割(Dicing)或划片(Die Sawing)工序的处理效果;随晶圆(020)切割过程...
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