温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

提供一种在线膜厚测试装置以及在线膜厚测试方法。在线膜厚测试装置用于安装在气相运输沉积的沉积室上。沉积室设置有第一透窗和第二透窗。在线膜厚测试装置包括固定架、测高装置、膜厚测试仪以及运动装置。固定架安装在沉积室上。测高装置固定安装在固定架上，...
该专利属于江苏先导微电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏先导微电子科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。