下载一种胚料深冷处理装置及其使用方法的技术资料

文档序号:38889968

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本发明公开了一种胚料深冷处理装置及其使用方法,涉及深冷处理装置技术领域,包括深冷箱,其顶部设置有盖体,且深冷箱的内部从上至下分别形成有冷却载物室和排气室;载物模块,其包括转动装配在冷却载物室底部的中间位置处的载物台,以及支撑组件,所述载物台...
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