下载VCSEL芯片及其制备方法的技术资料

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公开了一种VCSEL芯片及其制备方法,其中,所述VCSEL芯片包括:发光区域结构,包括多个VCSEL发光单元、环绕所述发光区域结构的外围区域结构,以及,形成于所述外围区域结构的阻热结构。所述VCSEL芯片通过形成于所述外围区域结构的阻热结构...
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