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一种晶圆片甩干装置，属于晶圆片加工技术领域。本实用新型包括机体，机体的内部固定安装有固定板，固定板上转动安装有固定管，固定管的上端固定连接有固定台，固定台的顶部固定安装有支撑块，支撑块的顶部固定安装有吸附台，吸附台内固定安装有橡胶圈，橡胶圈...
该专利属于浙江华越芯装电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江华越芯装电子股份有限公司授权不得商用。

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