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本发明属于微机电技术领域，具体为一种平面式双压电材料驱动的微机械超声换能器。本发明微机械超声换能器由换能器单元经延拓组成的二维结构；换能器单元结构包括双压电叠层、中性层、空腔和衬底；双压电叠层包含内外两个压电叠层，第一个压电叠层包括圆形上电...
该专利属于复旦大学所有，仅供学习研究参考，未经过复旦大学授权不得商用。

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