下载压电层叠体及压电元件的技术资料

文档序号:38870487

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本发明涉及压电层叠体及压电元件,其获得兼具高压电常数和高耐电压。所述压电层叠体及压电元件是在基板上依次具备下部电极层及压电膜的压电层叠体及压电元件,其中,压电膜包含钙钛矿型氧化物,压电膜具备:第1区域,钙钛矿型氧化物以(100)面取向或(0...
该专利属于富士胶片株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过富士胶片株式会社授权不得商用。

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