下载一种基于电源管理系统的肖特基二极管制备方法的技术资料

文档序号:38865382

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本发明公开了一种基于电源管理系统的肖特基二极管制备方法,包括衬底、形成在衬底上表面的第一外延层、间隔排列在第一外延层内的至少三个沟槽,沟槽内填充有第二外延层,形成在两个沟槽之间的第一注入区、位于第一注入区上并与第一外延层上表面齐平的第二注入...
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