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本发明提供了一种化学机械抛光保持环的清洗方法，一方面将IPA清洗液的超声清洗时间延长至10
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该专利属于宁波润平电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波润平电子材料有限公司授权不得商用。

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