下载一种半导体器件及其制造方法的技术资料

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本发明提供了一种半导体器件及其制造方法,属于半导体技术领域,该半导体器件包括基板、焊接层、银烧结层以及功率芯片。焊接层设置在基板上,焊接层包括由上至下设置的氰化浸金层、钯镀层以及镍层;银烧结层设置在焊接层上;功率芯片设置在银烧结层上。该半导...
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