下载反应蒸发装置的技术资料

文档序号:38861608

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本发明提供一种反应蒸发装置,包括:底座;外筒体,贯穿有容纳腔,包括第一固定部、旋转部和第二固定部,其上开设有真空连接口,第一固定部与底座连接;加热夹套,套设外筒体;封盖,与第二固定部连接;第一驱动组件,贯穿封盖;布料器,设置于容纳腔内,第一...
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