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本实用新型涉及一种适用于半导体加工的简易式载板送料装置，包括有承载平台，承载平台上设置有引导装置，引导装置上设置有位移控制装置，位移控制装置上设置有夹持装置，夹持装置上设置有感应装置，夹持装置为电夹爪，电夹爪的前端设置有夹持预留空间。由此，...
该专利属于苏州矽微电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州矽微电子科技有限公司授权不得商用。

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