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本申请实施例属于半导体技术领域，提供了一种晶圆的边缘检测方法、装置、电子设备及存储介质,边缘检测方法通过对晶圆进行光学成像，得到晶圆图像，根据晶圆图像进行边缘特征提取，得到多个晶圆边缘数据，获取晶圆的设计图纸文件，根据设计图纸文件获取晶圆的...
该专利属于深圳市格灵精睿视觉有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市格灵精睿视觉有限公司授权不得商用。

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