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本申请的实施例提出了一种防氧化退火装置，防氧化退火装置包括退火炉、设置在退火炉内的至少一根退火管、冷却液箱和负压组件。其中，待退火材料穿设于退火管；冷却液箱设置在退火炉的底部，冷却液箱用于容纳冷却液，退火管的一端位于冷却液的液面下；负压组件...
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