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本发明涉及一种生产高纯度一氧化碳和甲烷的深冷分离装置和生产方法，包括了氮气制冷循环和多塔精馏生产高纯度电子级5N一氧化碳和甲烷，其中氮气制冷循环为原料气的深冷分离提供冷量，设有液氮洗涤塔、脱氩塔、脱氮塔、脱甲烷塔、高纯甲烷塔再沸器和高纯一氧...该专利属于四川蜀道装备科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过四川蜀道装备科技股份有限公司授权不得商用。
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本发明涉及一种生产高纯度一氧化碳和甲烷的深冷分离装置和生产方法，包括了氮气制冷循环和多塔精馏生产高纯度电子级5N一氧化碳和甲烷，其中氮气制冷循环为原料气的深冷分离提供冷量，设有液氮洗涤塔、脱氩塔、脱氮塔、脱甲烷塔、高纯甲烷塔再沸器和高纯一氧...