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本公开的实施例公开了一种MEMS加速度与压力集成传感器及其制备方法。包括：第一衬底，设置有空腔；设置于第一衬底的埋氧层、器件层和第一钝化层，三者对应空腔的部分形成敏感薄膜；第一压敏电阻和第一欧姆接触区，内嵌于器件层的表面；设置于第一钝化层的...
该专利属于南京高华科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京高华科技股份有限公司授权不得商用。

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