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本发明选择发泡硅橡胶作为柔性电容式压力传感器中的柔性介电层材料，得到高稳定性的压力传感器。进一步地，通过柔性介电层的厚度以及发泡硅橡胶的硬度选择兼顾传感器的高检测灵敏度与高量程。更进一步地、将发泡硅橡胶中的闭孔结构开孔化提高传感器的检测灵敏...
该专利属于中科韧和科技（山东）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中科韧和科技（山东）有限公司授权不得商用。

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