下载一种等离子刻蚀机传片装置的技术资料

文档序号:38828980

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本发明公开了一种等离子刻蚀机传片装置,包括传片机构、传输机构和切片机构,所述传片机构包括蚀刻机本体,所述蚀刻机本体内腔的底部活动连接有移动盘。本发明通过设置蚀刻机本体、移动盘、传输框架、固定块、螺纹杆、移动块、活动板、金属板、旋转气缸、吸盘...
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