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本发明提供一种半导体器件及其制造方法,半导体器件包括:衬底;隔离区,所述隔离区位于所述衬底内,并定义出多个有源区;多条位线,所述多条位线位于所述衬底上;多个接触插塞,所述多个接触插塞分别位于所述多条位线之间,且所述接触插塞包括一底部,所述底...该专利属于福建省晋华集成电路有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过福建省晋华集成电路有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种半导体器件及其制造方法,半导体器件包括:衬底;隔离区,所述隔离区位于所述衬底内,并定义出多个有源区;多条位线,所述多条位线位于所述衬底上;多个接触插塞,所述多个接触插塞分别位于所述多条位线之间,且所述接触插塞包括一底部,所述底...